工业硅烟气脱硫脱硝此种技术工艺根据脱硫过程中有没有加入水，还有脱硫生成物的干湿状态，可分为干法、半干法、湿法这三种工艺技术。
脱硫工艺的技术选择
干法要在烟气≤400℃前提下，使用高温循环流化床的方法，使碳酸氢钠与二氧化硫立即产生气固化学反应，产生亚硫酸钠粉尘，用布袋式除尘器从烟气中彻底清除。根据现阶段硅业企业的生产情况看来，对新疆等西部地区较为适宜。
半干法要在布袋式除尘器前加设一个沸腾流化床＋旋风除尘器，流化床烟气气速为4~6m/s，反应时间t≧7s，塔高h≧40m。底部的文丘里烟气气速为40~50m/s，容易造成很大程度的动力损耗。为了能保持流化床的稳定性能，务必配备高压风机。脱硫剂并不是生石灰粉，而只是生石灰浆，化学反应速率比干法快，动力损耗非常大，要配备高压风机；脱硫剂可能会污染布袋式除尘器过滤出来的烟气粉尘；出装置时的烟气湿度比进口更高一些，更为明显影响到布袋除尘器的工作状况。脱硫剂进装置为液态，出装置为固态，故称半干法。半干法现如今在各个行业运用最广泛。
湿法是通过碱性液体与烟气接触、吸收、反应，实现清除SO2的最终目的。脱硫剂进出装置均为液态，故称之为湿法。湿法是工业各行业领域脱硫效果最好的脱硫技术，技术水平最成熟完善。尽管一次性地投入比较大，但脱硫工作效率高，实际操作弹性大，也可以通过不同排放标准技术指标来进行调正；脱硫设备安置在布袋式除尘器后，对原加工工艺不良影响非常小；
SCR脱硝技术（中低温选择性催化还原法）
1、正常情况下，SCR法的NOx脱除率可以达到70%～90%，NOx出口浓度可下降至100mg/m3左右，这是一种尽管价格昂贵不过简洁靠谱的烟气脱硝技术工艺。
2、催化剂能够按照必须制作成各类样式。在烟气脱硝工艺中，配合操作参数、工艺设备的条件，一般做成连续、单一通道的整体结构，逐级堆积在脱硝装置里，广泛运用三种形式：板式、蜂窝式和波纹板式。
3、受工作状况环境温度的受限，布袋式除尘器安置在SCR脱硝装置后，因此脱硝时烟气中灰尘比较大。催化剂填料的设计方案要综合考虑到防堵和防磨损的标准，就烟气流动性来说，板式最合适，通流面积约85%左右，蜂窝式要稍差一些，流通面积约80%左右，波纹板式最次，最容易堵。从结构特征来说，在同样间隔距离的情况下，板式的折流死角比较少，比较不易堵灰；蜂窝式的折流死角比较多，非常容易造成灰分搭桥而造成催化剂的堵塞；波纹板式的折流死角最严重，是比较容易堵灰的构型。堵灰很大程度影响催化剂的使用寿命，对催化剂的替换期限起关键性的影响。
4、根据催化剂生产制造的工艺，可分为挤出式、浸烧式。采用挤出式生产制造的催化剂，强度很低，拿手就可以掰坏，耐磨性比较差，但易制作加工有利于安装组配，成本费用低；采取浸烧式生产制造的催化剂，使用陶瓷等材料作承载，强度非常高，耐磨性好，但不容易制作加工，并且成本相对较高。
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